با استفاده از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار با بهره گیری از پلاسما (PACVD) می توان طیف گسترده ای از نانوپوشش ها را ایجاد کرد. پوشش های متداولی مانند TiN، TiCN، TiAlN و DLC  که امروزه بر روی ابزارهای برش لایه نشانی می شوند از جمله کاربردهای این روش می باشد. معمولا برای بهبود خواص سطحی پوشش های ایجاد شده به این روش، قبل از ایجاد لایه نهایی یک عملیات سطحی مانند نیتروژن دهی پلاسمایی (PN) بر روی زیرلایه انجام می شود. اگر چه فرایند نیتروژن دهی پلاسمایی در دسته فرایندهای ایجاد کننده پوشش های نانوساختار قرار نمی گیرد اما بهره گیری از این روش برای حصول به پوشش های با خواص مناسب ضروری است. در ادامه مباحث این بخش در ابتدا به توضیح فرایند نیتروژن دهی پلاسمایی و سپس به ارائه مطالبی درباره ی روش PACVD پرداخته می شود.

ü     فرایند نیتروژن دهی پلاسمایی (PN)

ü     معرفی روش

ü     تجهیزات

ü     کاربردها

ü     کتب و مقالات مرتبط