کلمات کلیدی: پوشش؛ PACVD؛ بهینه سازی؛ خواص مکانیکی.

ایجاد پوشش هایی با قابلیت های مختلف در مقیاس نانومتری (پوشش هایی با ضخامتی کمتر از 100 نانومتر) بر روی...