ایجاد پوشش نانوساختار TiBN با استفاده از روش PACVD بررسی تاثیر متغیرهای فرایندی بر خواص مکانیکی و سایشی آن

کلمات کلیدی: پوشش؛ PACVD؛ بهینه سازی؛ خواص مکانیکی.

ایجاد پوشش هایی با قابلیت های مختلف در مقیاس نانومتری (پوشش هایی با ضخامتی کمتر از 100 نانومتر) بر روی ابزارها و ماشین آلات صنعتی سبب بهبود عملکرد، کارآیی و عمر قطعات شده است. تولید و مهندسی پوشش ها با هدف ایجاد پوشش های چند جزیی با خواص جدید یا بهبود یافته از جمله حوزه های پژوهشی در زمینه پژوهش های دانشگاهی مرتبط با فناوری نانو است. هرچند ایجاد پوشش های سه جزیی TiBN با استفاده از روش رسوب گذاری شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PACVD) در دنیا انجام شده است ولی این پوشش تاکنون در کشور اعمال نشده است. این پوشش نانوساختار جزء پوشش های سخت و مقاوم بوده که کاربردهای زیادی بر روی قالب ها خواهد داشت.

به دلیل محرز بودن اثر دمای لایه نشانی، ترکیب پلاسمایی و درصد چرخه کار، بایستی این سه عامل به دقت مورد تحلیل و کنکاش قرار گیرد.